明清各朝都依唐律，把度量衡制列为本朝法典，颁发标准器和定期检定。明朝官府虽规定了严格的度量衡制度，但官僚地主商人任意增大度量衡器具的单位量值，对农民进行剥削。明末安徽贵池地主收租“大进小出”，进时用的斗每石高达220斤，放债用的斗每石只有90斤。

宣统元年(公元1909年)向国际权度局制造了营造尺和库平两铂铱合金原器各一件，成为中国度量衡史上第一代具备了现代科学水平的基准和仪器。

清末光绪二十九年(公元1903年)规定以尺、升、两为度量衡的基本单位，终于形成了中国两千多年来独特的、统一的、科学的度量衡单位制体系。